nhận định kèo nhà cái
Nhà phát triển Photoresist loại tích cực
Nhà phát triển quang học sau kiểu của Tokuyama "SD Series" là các tác nhân hóa học được sử dụng trong các quá trình quang học (phát triển) để tạo thành các mạch trong sóng bán dẫn. Sê-ri SD bao gồm các nhận định kèo nhà cái tinh khiết cao với rất ít tạp chất như ion kim loại và ion clo. Các chuỗi này phù hợp để xử lý vi mô vì chúng có thể được sử dụng để tạo các mẫu mạch sắc nét.
11348_11482
Tokuyama có cơ sở vận chuyển tại Nhật Bản, Đài Loan, Singapore và Trung Quốc, và đang tăng cường hệ thống cung cấp của mình cho các nhà nhận định kèo nhà cái xuất bán dẫn tiên tiến.
Tổng quan về nhận định kèo nhà cái
| Tên chung | Nhà phát triển photoresist kiểu tư thế, Tetramethylammonium hydroxit (TMAH) | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Công thức hóa học | N (CH3)4OH | ||||||||
| Đóng gói / Phương thức vận chuyển |
hộp, trống hóa học, lon polyetylen | ||||||||
| Lớp |
|
||||||||
| Ứng dụng chung |
|
||||||||
| THẬN TRỌNG | Được phân loại là chất kiềm mạnh với nhận định kèo nhà cái đặc tính ăn mòn. |
Quá trình quang hóa
* Phát triển nhận định kèo nhà cái loại kháng chiến khác nhau
Nhà phát triển quang học loại tích cực được sử dụng trong quá trình quang khắc (phát triển) để hình thành nhận định kèo nhà cái mẫu hoặc mạch, trên sóng bán dẫn. Photoresist (vật liệu nhạy cảm với ánh sáng) trước tiên được phủ trên bề mặt của dao động, và sau đó nhận định kèo nhà cái mẫu được khắc thông qua tiếp xúc với ánh sáng từ trên cao. Sau khi tiếp xúc, chất quang học được hòa tan bằng cách sử dụng TMAH (sê -ri SD) để rời khỏi nhận định kèo nhà cái mẫu mạch được hình thành.
Đặc điểm đặc biệt
- Độ tinh khiết cao
Lượng tạp nhận định kèo nhà cái cực kỳ thấp như ion kim loại và ion clo. - áp dụng cho việc xử lý vi mô
nhận định kèo nhà cái mẫu dây sắc nét để khắc dễ dàng - kiềm mạnh
nhận định kèo nhà cái lỏng không màu và trong suốt (ở nhiệt độ phòng)
